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洁净室设计标准

日期: 2013-12-6

洁净室设计标准



式中:Cn—— 大于或等于要求粒径的粒子最大允许浓度(pc/m3. Cn 是以四舍五入到相近的整数,有效位数不超
过三位数。
N ——
洁净度等级,数字不超出9,洁净度等级整数之间的中间数可以按0.1为最小允许递增量。
D——
洁净度等级,数字不超出9,洁净度等级整数间的中间数可以按0.1为最少允许递增量
0.1——
常数,其量纲为μm

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