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电子厂房净化空调改造设计方案

本文在某电子厂房原有的净化空调工程基础上,对工艺布置和净化空调系统提出改造方案,并对方案设计进行了简朴的先容. 

1  原有净化空调工程情况 

    1.1  简况 

    该厂房位于某市开发区,建于1995年,主要出产半导体芯片。厂房共建三层,需改造项目位于二层,系统的平面布置如图1所示。系统总面积1510m2,  其中空调面积385m2,净化面积1125m2,净化级别除黄光室为千级外,其余均为万级。 

    1.2  系统存在的主要题目 

    (1)厂房内只对千级间黄光室设围护结构, 

    其余房间均为敞开式,净化区域与非净化区混合在一起,系统较为混乱,难以控制和调节,净化区域的洁净度不能达到要求; 

    (2)非净化区域的扩散炉,经测定表面温度可达50℃,散热量非常大,在原有设计中存在空调送风量不足题目,造成扩散炉附近区域的温度高达37℃,并且回风轮回使用,不利于节能; 

    (3)酸洗槽的排风量不足,均匀断面风速为0.1m/s,酸性物质存留在室内环境中,不能有效地排出,严峻影响室内的卫生和出产环境; 

    (4)在厂房洁净区进口处的风淋室风速为12m/s的要求,需要更换轮回风机。 

    2  改造方案 

    针对系统运行中泛起的的以上情况,经与甲方协商,提出了改造方案。 

    2.1  工艺布置改造方案 

    2.2  净化空调系统改造方案 

     

    3  改造后的使用效果 

    系统改造后经高度确保每个房间的风量、正压达到设计要求,在动态下检测,厂房的洁净度、温湿度、噪声、照度等各项指标均达到设计要求。 

     

    4  结论 

    本工程改造前主要特点表现在系统工艺布置不公道(未对净化区及非净化区时行明确划分)、混用净化及非净化区空调系统,不符合“规范”的要求;酸洗槽排风量不足;护散炉区因送风少及未设局排举措措施导致环境温度超标;改造后将出产工艺布局做了适当调整,按照规范的要求,对净化区及非净化区单独设置空调系统;加大酸洗槽排风量,同时采用了热排风回收装置,对增补新风进行预热(预冷),节约能源,降低运行用度。建议在今后的空调工程设计中,对于出产环境有要求的工艺,既应该按照出产过程布置工艺,同时还要考虑到有利于空调净化系统的调节和控制,保证出产环境的可靠性。


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